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億天凈化

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解決方案

電子半導體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案

  隨著(zhù)半導體制程技術(shù)的飛速發(fā)展,芯片線(xiàn)寬已經(jīng)進(jìn)入納米級。與此同時(shí),氣態(tài)分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個(gè)數量級,逐漸取代顆粒污染物成為影響產(chǎn)業(yè)制程產(chǎn)率的關(guān)鍵因素之一。對微電子半導體制造業(yè)來(lái)說(shuō),氣態(tài)污染物會(huì )危害生產(chǎn)工藝的關(guān)鍵環(huán)節,造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕,引起成品合格率降低。因此,微電子廠(chǎng)房?jì)确肿蛹壙諝馕廴镜目刂埔苍絹?lái)越重要。

  億天凈化公司提供電子半導體生產(chǎn)環(huán)境超潔凈解決方案,提供空氣質(zhì)量檢測、控制和監測等服務(wù)。億天公司的化學(xué)過(guò)濾器、粉塵過(guò)濾器、AMC化學(xué)污染物在線(xiàn)監測系統、電子半導體生產(chǎn)環(huán)境智能在線(xiàn)監測系統、微粒子可視化系統、粒子計數器、AMC檢測柜、智能FFU等產(chǎn)品,高效節能降耗,為電子半導體生產(chǎn)提供全方位的潔凈、節能的空氣解決方案,提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品良率。




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