潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境通過(guò)將污染控制至適當水平來(lái)完成對污染敏感的活動(dòng)。ISO 14644-3 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境----第 3 部分: 檢測方法，設定了適當的方法測量潔凈室、潔凈區或相關(guān)受控環(huán)境的性能。

與空氣過(guò)濾器和系統有關(guān)的術(shù)語(yǔ)

01氣溶膠測試

用測試用氣溶膠對過(guò)濾器或已安裝的過(guò)濾器系統進(jìn)行檢測

02規定泄漏

客戶(hù)與建造商商定的最大允許穿透限值。用光散射粒子計數器(LSAPC)或氣溶膠光度計對潔凈室設施進(jìn)行掃描時(shí)可檢測到的泄漏。

03稀釋系統

按已知容積比將進(jìn)入的氣溶膠與無(wú)粒子空氣混合以降低氣溶膠濃度的系統

04過(guò)濾器系統

由過(guò)濾器、框架及其他支撐裝置或外殼所組成的系統

05終端過(guò)濾

處于空氣進(jìn)入潔凈室前終端位置上的過(guò)濾器

06已安裝過(guò)濾器系統

已安裝在天花板、墻壁、網(wǎng)管或設備上的過(guò)濾器系統

07已安裝過(guò)濾器檢漏

為確認過(guò)濾器安裝良好、沒(méi)有向潔凈室設施的旁路滲漏，過(guò)濾器及其框架均無(wú)缺陷和滲漏所做的檢測

08泄漏

(過(guò)濾器系統)因密封性欠佳或缺陷使污染物漏出，造成下風(fēng)向濃度超出預期值

09掃描

用氣溶膠光度計或光散射粒子計數器的采樣管、采取重疊的行程移過(guò)規定的檢測區，以發(fā)現過(guò)濾器泄漏的方法

已安裝過(guò)濾器系統泄漏測試

這項檢測旨在驗證潔凈室設施不存在旁路滲漏，過(guò)濾器不存在缺陷(過(guò)濾器介質(zhì)和密封框架上的小孔、其他損傷，以及過(guò)濾器邊框泄漏)，從而確認終端高效過(guò)濾器安裝良好。這項檢測不檢查系統的效率。這項檢測是這樣進(jìn)行的:在過(guò)濾器上風(fēng)向引入檢測氣溶膠，并在過(guò)濾器的下風(fēng)向對過(guò)濾器、其支撐架進(jìn)行掃描，或在下風(fēng)向的風(fēng)管中采樣。

已安裝過(guò)濾器系統檢漏

本測試的目的是通過(guò)檢查設施沒(méi)有旁路泄漏來(lái)確認已安裝的對最具穿透性粒子直徑(MPPS)具有99.95%或更高完整性效率的過(guò)濾器系統安裝良好，過(guò)濾器無(wú)缺陷(過(guò)濾器介質(zhì)、邊框、密封有小孔和其它損傷，以及過(guò)濾器邊框泄漏)。

本測試不用于確定過(guò)濾器介質(zhì)的效率。檢漏確定的是泄漏水平，與設施的潔凈度性能有關(guān)。本測試是在過(guò)濾器上游引入氣溶膠，掃描過(guò)濾器下游和邊框或在下游風(fēng)管取樣。該測試適用于空態(tài)或靜態(tài)潔凈間/室、新潔凈室/區調試時(shí)，或現有設施需要重新測試，或在高效過(guò)濾器更換之后。

1.氣溶膠光度計法

裝有任何類(lèi)型空氣處理系統的潔凈室/區，設施排放油性揮發(fā)性測試用氣溶膠并在過(guò)濾器上沉積，風(fēng)管對潔凈間/區內的產(chǎn)品和/或工藝和/或人員不會(huì )產(chǎn)生危害的。

注:相比于LSAPC方法，氣溶膠光度計方法可能需要上游有較高氣溶膠濃度。

已安裝過(guò)濾器系統檢漏掃描測試方法 

在執行本項測試之前，應測試氣流速度。如果設施以不同氣流速度運行，則應選擇最高水平用過(guò)濾器系統檢漏掃描測試。測試時(shí)，將指定的挑戰氣溶膠注入過(guò)濾器上游，用光度計探頭掃描過(guò)濾器下游和格柵或安裝邊框系統查找是否有漏點(diǎn)：

a.測量過(guò)濾器上游的氣溶膠濃度。該氣溶膠濃度應作為上游 100%用于光度計對照。下游測量值顯示為上游濃度的百分比穿透率；

b.然后將探頭以不超過(guò) 5 cm/s 的速度往返重疊（建議重疊 1cm）掃描。探頭與下游過(guò)濾器表面或邊框結構距離應為 3cm 或更??；

c.掃描應覆蓋每個(gè)過(guò)濾器的整個(gè)下游表面、每個(gè)過(guò)濾器的邊緣、過(guò)濾器邊框與格柵結構的密封處，包括其接口；

d.在檢漏掃描間和之后，應以合理時(shí)間間隔重復測量過(guò)濾器上游的氣溶膠濃度，以確認挑戰氣溶膠濃度的穩定性。

2.光散射空氣懸浮粒子計數器(LSAPC)方法

將有任何類(lèi)型空氣處理系統的潔凈間/區，設施排放油性揮發(fā)性測試用氣溶膠并在過(guò)濾器上沉積，風(fēng)管不能承受或推薦使用固體氣溶膠的。

注1:本方法要求進(jìn)行一系列的計算來(lái)設計方法，亦可能需要使用稀釋劑。計算可手動(dòng)，可通過(guò)單獨的計算機，可通過(guò)儀器連接的計算器或在可自動(dòng)計算的 LSAPC 儀器內完成。

注2:本方法亦可用于可承受排放油性氣溶膠的系統。

已安裝過(guò)濾器系統檢漏用儀器和材料

氣溶膠光度計限用于背景粒子數或濃度低于規定泄漏率10%的情形；

光散射空氣懸浮粒子計數器(LSAPC)，限用于背景粒子數或濃度低于指定泄漏率的10%的情況；

適當的氣動(dòng)或熱力學(xué)氣溶膠發(fā)生器，提供具有適當粒徑范圍的適當挑戰氣溶膠濃度；

所規定的儀器應具備有效的校正證書(shū)。